製備鈦酸鋇膜之方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094114291

專利證號

I 261633

專利獲證名稱

製備鈦酸鋇膜之方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2006/09/11

技術說明

本發明為一種結合化學作用及水熱法，於鍍鈦及鍍氧化鈦之矽晶片上製備鈦酸鋇膜之新製程，突破以往水熱法直接浸泡 之方法， 亦較直接浸泡有較快之鈦酸鋇成長速率，且也無碳酸鋇污染產生，極具應用價值。 This invention is to synthesize barium titanate films by using a galvanic couple on hydrothermal methods. This process has a faster growth rate. The barium carbonate contaminates could also be prohibited.

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

04-22851811

網址