發明
美國
10/720,058
US7,048,603
一種有效提高有機發光元件之發光電流效率及發光功率效率之製程
國立成功大學
2006/05/23
為了改善傳統有機發光元件低發光效率的缺點,本發明係提供一種便 宜且簡單易作的改良 型電洞傳輸層成長製程,以達到高效率之目標。此項技術乃採用熱蒸 鍍系統,其製作詳細 流程說明如圖二所示。(1)將ITO基板及載子傳輸層有機粉末(TPD、 Alq3)置於成長室中 (2)將成長室抽真空至1×10-5torr(3)輸入高純度氮氣,將成長室 氣壓調到1×10-4torr (4)開始蒸鍍TPD以成長電洞傳輸層(HTL)(5)蒸著完後將成長室 真空調回1×10- 5torr,開始鍍Alq3有機材料,作為電子傳輸層(ETL)(6)換光罩,相 同真空下鍍鋁作為陰 極(7)完成元件
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