新型
中華民國
107124058
I 663390
感測方法、感測元件及其製造方法
國立臺灣科技大學
2019/06/21
一種可變表面吸附力元件,包括基材、加熱層、緩衝層及奈米結構陣列。加熱層形成於基材之一側,加熱層可藉由供電而改變溫度;緩衝層形成於加熱層上;奈米結構陣列形成於緩衝層上,奈米結構陣列以金屬玻璃材料製成,奈米結構陣列包括複數奈米結構,各奈米結構彼此間隔排列而形成有序陣列,且藉由奈米結構陣列可形成複數氣體容置空間。
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