發明
中華民國
092136823
I 253480
以金奈米粒子輔助成長半導體量子點的製作方法
財團法人國家實驗研究院
2006/04/21
本發明提供一種以金奈米粒子輔助成長半導體量子點的製作方法。上述方法包括提供一基底 並形成一氧化層於該基底上。接著,形成一金屬奈米粒子於該氧化層上。然後,以金屬奈米 粒子為催化劑,進行高密度電漿化學氣相沉積步驟,於該氧化層上製作半導體量子點。
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