檢測微區域應力之方法與系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102128036

專利證號

I 475202

專利獲證名稱

檢測微區域應力之方法與系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2015/03/01

技術說明

本發明之另一目的在於提供一種直接以電流流過導電線路並產生熱焦耳效應所產生之熱影像，做為微區域表面形貌之線上即時檢測系統，可以獲得更準確與清楚之表面應力狀況。 方法包括：提供一基底，其表面為非導電之物質結構；在該基底表面上至少選擇一微小區域均勻的佈設一導電線路；通電至導電線路，使電流流過導電線路並產生熱焦耳效應；偵測導電線路上之熱影像；以及分析熱影像以獲得基底表面應力結構之資訊。 再者，從另一種實施方式中，本發明係採取以下之技術手段予以達成，其中，本發明檢測微區域應力之系統包括：至少一導電線路，係均勻的佈設在一基底之表面，且位於基底表面之非工作區，其中，基底表面為非導電之物質結構；一供電裝置接觸式的連接導電線路並供給有效電流，使導電線路產生熱；一熱影像接收器位於導電線路上方，接收導電線路因通過電流產升之熱影像；以及一計算機電性連接熱影像接收器以接收熱影像，計算機具有一電腦程式模組可以輸入熱影像，求取基底表面之表面應力結構之資訊。 The primary objective of the present invention is to provide a method and system for stress detection on small areas. In order to accomplish the above objective, the method for stress detection on small areas in accordance with the present invention comprises: providing a substrate having a non-conductive surface material; depositing at least one conductive line on a selected small area located on the non-conductive surface; providing electric current to the at least one conductive line for Joule heating effect; monitoring a heat image showing the Joule heating effect-generated temperature difference on the conductive line; and analyzing the heat image for localizing compressive and tensile strains on the non-conductive surface.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址