應用於智慧型窗戶之氧化鎢薄膜

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099133707

專利證號

I 405827

專利獲證名稱

應用於智慧型窗戶之氧化鎢薄膜

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2013/08/21

技術說明

氧化物薄膜已廣泛應用於傳統產業、半導體製程、光電產業等。目前氧化物薄膜的製備方法可概分為氣相法與溶液法。然而，氣相法例如蒸鍍或濺鍍製備方法需要使用昂貴的設備，真空系統抽真空的速度限制製程速度，且反應腔體的尺寸也使得製程難以大面積化。 溶液法例如凝膠或其他水溶液製備方法則有製程繁瑣費時與氧化物薄膜之特性不容易控制的問題。舉例來說，一種水溶液製備氧化鎢薄膜的方法係先將鎢粉與雙氧水攪拌6小時以均勻混合並移除過多的雙氧水，然後將醋酸加入溶液後迴流12小時，接著對溶液抽真空以移除溶劑，接著加入介面活性劑至溶液後攪拌約1小時，然後離心分離溶液中的雜質而留下澄清液體，接著將得到的澄清液體塗佈在基材上並進行加熱步驟以得到氧化鎢薄膜。此外，一般溶液法的製程步驟需要精確地控制才能具有再現性，否則，製程參數稍有誤差，例如溶液攪拌的時間不同或溶液置放的時間不同就無法得到相同性質的氧化物薄膜。 本發明之實施例提供一種應用於智慧型窗戶之氧化鎢薄膜。氧化鎢薄膜的形成方法包括以下步驟。製備塗料。塗料包括第一前驅物、燃料與溶劑。第一前驅物包括鎢粉末、硝酸鎢、硫酸鎢、醋酸鎢或上述之組合。燃料包括硫脲、尿素、氨基乙酸、檸檬酸或上述之組合。溶劑包括水、雙氧水、酒精、或上述之組合。將塗料施加至基材上以形成塗層。進行退火步驟，以使塗層變成氧化鎢薄膜。 A tungsten oxide film for a smart window. The tungsten oxide film is formed by a method including following steps. A coating material including a first precursor, a fuel, and a solvent is prepared. The first precursor includes tungsten powder, tungsten nitrate, tungsten sulfate, tungsten acetate, or a combination thereof. The fuel includes thiourea, urea, glycine, citric acid, or a combination thereof. The solvent includes water, hydrogen peroxide, ethyl alcohol, or a combination thereof. A coating layer is formed by applying the coating material onto a substrate. A tungsten oxide film is formed by annealing the coating layer.

備註

本部(收文號1050039975)同意該校105年6月7日成大研總字第1054500403號函申請終止維護專利55件(成功)

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