壓電真空計與其量測方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

101115502

專利證號

I 477752

專利獲證名稱

壓電真空計與其量測方法

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2015/03/21

技術說明

本專利提出一雙邊固定式懸臂樑型壓電真空計，相較於其他黏滯型真空計，此真空計隨著懸臂樑擺動所產生電壓輸出的不同，藉此來量測真空壓力。本發明係利用一壓電材料來當作一致動器與一感測器，並置於微懸臂樑之兩端，當給致動器供給電壓時，會造成懸臂樑產生形變，當樑在擺盪時，感測器會隨著樑的彎矩而受力造成正壓電效應，造成電壓的輸出，其藉由不同的真空度下氣體黏滯性不同，感測器隨著懸臂樑擺動的電壓輸出便會不同，藉此來達到量測真空壓力的目標。

備註

本部(收文號1070075493)同意該院107年10月26日國研授儀服院字第1070901994號函申請終止維護專利。

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址