具窄線寬特性之外腔雷射系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

101112987

專利證號

I 484709

專利獲證名稱

具窄線寬特性之外腔雷射系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺北科技大學

獲證日期

2015/05/11

技術說明

本發明係有關應用光纖光柵與雙軸微動平台元件於外腔雷射系統之裝置，並利用真空封裝的方式使雷射頻率穩定。在波長調整機構方面，其裝置之特徵在於使用一微機電製程技術所製作的雙軸微動平台並結合一壓電致動器應用於外腔雷射系統內。此一雙軸微動平台與壓電致動器元件上裝置有一光纖光柵用以將繞射後的部分雷射光束回授給雷射源，其餘的雷射光則透過光纖成為輸出光。此外，此雙軸微動平台會依據所輸入的電壓大小及所輸入的位置，在光纖光柵的軸向或是徑向上產生相對的位移，用以粗調整雷射波長及找尋光學迴授。而由於光纖光柵是黏附在壓電致動器元件上，因此光纖光柵的光柵週期(grating period)會隨著壓電致動器的伸長與收縮量做改變，進而達到雷射波長調整的目的。另外在真空封裝機制方面，其裝置之特徵在於使用一矽材料所製作的真空傳輸導線板與雷射系統的派瑞克斯玻璃上蓋做陽極接合，以完成雷射系統的封裝，接著利用真空幫浦將封裝好後的雷射系統抽至所需的真空度，如此一來雷射系統便可以長期處在沒有噪音、空氣擾動與外界溫度改變的環境中，因而使得雷射頻率可以長期穩定。另外在此一矽真空傳輸導線板上裝置有數個用於電性傳輸的電鍍銅塊，用以將真空系統外的電流與電壓訊號傳授給在真空系統內的雷射器之各個元件上。 This invention relates to apply the fiber grating, micro-stage and the vacuum package on an external cavity laser system to stabilize the lasing frequency. The characteristic of the device on wavelength tuning mechanism is to use a micromachined micro-stage combined with a piezoelectric actuator (PZT) applied to the laser system. There is an optical fiber grating attached onto the micro-stage which will diffract the laser beam and feed it back to the laser diode. The rest of the laser power will travel through the fiber and become the output beam. The characteristic of the device on the vacuum package is to use a vacuum feedthrough silicon plate anodic bonded with a pyrex lid to vacuum seal the laser system. Thus, the laser system can sit in an isolated environment without any noise, air turbulence and air temperature change, result in having a long term stabilized laser frequency.

備註

本部(收文號1080026226)同意該校108年4月26日北科大產學字第1087900115號函申請終止維護專利

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