多元金屬氧化物薄膜之合成SYNTHESIS FOR THIN FILM OF MULTI-COMPONENT METAL OXIDES

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

101123324

專利證號

I 441943

專利獲證名稱

多元金屬氧化物薄膜之合成SYNTHESIS FOR THIN FILM OF MULTI-COMPONENT METAL OXIDES

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2014/06/21

技術說明

本發明之主要目的係在於提供一種多元金屬氧化物薄膜之合成製程，達成內含金屬種類在三種或三種以上，例如MAMBMCOX多元金屬氧化物薄膜，並且其金屬成份之分散均勻度與薄膜表面光滑度皆良好，以提昇或改良絕緣層的品質。主要揭示一種多元金屬氧化物薄膜之合成製程，以包含第一金屬元素與第二金屬元素之酮醇類合金雙牙基化合物溶液作為溶膠凝膠法之溶膠前驅物，再與包含第三金屬元素之酸類有機金屬鹽溶液混合，由於兩者溶質皆可提供雙牙基，可將溶膠凝膠之聚合反應速度降到極低，以形成較均勻的凝膠，故能製得一種具有平滑、均勻性與非晶相之多元金屬氧化物薄膜，不僅增加溶膠凝膠法前驅物材料之選擇性和多元性，亦具有低成本、製程簡單之優勢。 Primarily disclosed is a synthesis process for thin film of multi-component metal oxides. A ketones-alcohols alloy compound solution containing a first metal element and a second metal element is prepared as a sol precursor for sol-gel method. Next step is to mix the compound solution with an acid organic metal salt solution containing third metal element. Since all solutes of the both solutions enable to provide bidentate structures, polymerization reaction in sol-gel process can be reduced until an extremely low speed to form an uniform gel. A smooth, uniform, and amorphous thin film of multi-component metal oxides can be manufactured. Not only selectivity and multi-component property about precursor material for sol-gel method are increased, but also the advantage of low cost and simple process is owned.

備註

本部(收文號1060066830)同意該校106年8月23日成大研總字第1064500744號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

網址