臨界角法結合CCD作物件缺陷量測之方法及裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097144042

專利證號

I 388817

專利獲證名稱

臨界角法結合CCD作物件缺陷量測之方法及裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2013/03/11

技術說明

近年來，隨著加工技術的快速發展，對於超光滑表面的粗糙度檢測技術，已變的越來越重要，本文基於此提出了一種高精度表面粗糙度及形貌輪廓的量測技術，架構上以CCD擷取影像結合臨界角強度檢測技術方式。當光束入射於待測物件上時，會因待測物件表面的高低變化，造成穿透或反射的光束有微小的角度改變量，使得光強度因偏離臨界角附近的角度而變大或變小，以CCD擷取缺陷光強影像，與標準面之影像相比，即可得到待測物之缺陷與形貌。因架構在檢測應用上的靈活選擇性，使待測物件可做超光滑表面的高解析度量測或高表面變化的低解析度檢測，具有非接觸、大範圍、高靈敏度及抗空氣擾動的高穩定性檢測優勢。

備註

本部(收文號1050001826)同意該校105年1月6日虎科大智財字第10534000010號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

(05)6315933

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