精密拋光研磨機撓性承載裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095110327

專利證號

I 278377

專利獲證名稱

精密拋光研磨機撓性承載裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2007/04/11

技術說明

本發明係關於一種精密拋光研磨機撓性承載裝置，其主要在拋光研磨墊問裝設一座體，於座 體上裝設一承載器，該承載 器的頂面設有一容置槽，並在其外周緣上設有一與容置槽相連通之流體入口，且藉由一管路 來輸送流體，又承載器的容 置槽上裝設有一墊體， 該墊體係設有數個與容置槽相通的孔洞，而藉由孔洞噴出流體 來支撐拋光研磨墊的撓性 方式進行被拋光物件的拋光研磨，以避免被拋光物件的破裂毀損，藉此提供一種具有撓性拋 光研磨及施壓均勻之目的 者。

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

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