捲揚式鍍膜設備之製程品質線上即時檢測系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

096142950

專利證號

I 368664

專利獲證名稱

捲揚式鍍膜設備之製程品質線上即時檢測系統

專利所屬機關 (申請機關)

修平學校財團法人修平科技大學

獲證日期

2012/07/21

技術說明

本發明所欲解決的問題在於提供一種捲揚式鍍膜設備之製程品質線上即時檢測系統，可在濺鍍製程中線上即時檢測薄膜成品的品質特性（如鍍膜層厚度、表面阻抗、穿透率、折射率及反射率），經產品品質自動迴饋控制裝置計算後，自動地回饋至設備製程參數調變裝置，以即時（real-time）線上（on-line）調整製程參數（如電漿密度、設備功率、作用時間、反應氣體比例及流量、真空度等），達到提升產品品質與生產良率之功效。 為解決上述問題，本發明係提出一種捲揚式鍍膜設備之製程品質線上即時檢測系統，該系統包括線上鍍膜品質特性即時量測裝置、製程品質及良率診斷資訊裝置、產品品質自動回饋控制裝置以及設備製程參數調變裝置，該線上鍍膜品質特性即時量測裝置係可量測薄膜成品的鍍膜層厚度、穿透率、折射率及反射率等光學性參數以及表面阻抗等電氣性參數，並將此等參數值輸入到該產品品質自動回饋控制裝置，依據鍍膜品質狀況計算而自動調整設備製程參數。如此，除了達到線上即時全面性鍍膜品質檢測外，可避免事後人工隨機抽驗及人為主觀品質好壞認定標準不一，而提供一客觀性檢測標準，此外，倘若因設備製程參數設定錯誤而導致生產出整批不良品時，可提供線上即時回報給設備操作人員，採取立即停機或修正製程參數處理，不會導致浪費整批成品，以達到提升產品品質與產品良率之功效。 The anti-reflective substrates can consequently be within the design requirement. The fruitful results of the patent include: 1.PEM, Plasma Emission Monitoring, system will be build to monitor the deposition rate of the reactive sputtering process. 2. A fuzzy-logic controller will be developed for the flow rate control of the oxygen to overcome the unstable hysteresis effect. 3. The real-time monitoring system for the optical properties such as film thickness, light transmittance, etc., will be build. 4. A fuzzy-logic controller for the process parameter, such as power of the magnetron sputtering gun, partial pressure of the gas, etc., will be developed for the closed-loop control of the deposition film’s optical properties. 5. The quality information for the R2R process will be constructed to enhance the yield of the sputtering process.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研究計畫組

連絡電話

0424961100轉6412

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