發明
美國
11/900,969
US 7,906,360 B2
光偵測器的製造方法MANUFACTURING PROCESS FOR A PHOTODETECTOR
國立臺灣大學
2011/03/15
本發明為一種光偵測器的製造方法,包括:(a)提供一鍺板,該鍺板包括一第一加工區域及一 第二加工區域﹔(b)降低缺陷處理至少該第一加工區域及該第二加工區域其中之一;及(c)於 該鍺板上形成一光偵測元件。
本部(收文號1060029841)同意該校106年5月4日校研發字第1060033342號函申請終止維護專利
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