SENSING DEVICE FOR MEASURIMG A POSITION OF NANOSCALE MOTION APPARATUS

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

12/222,145

專利證號

US 7,880,478 B2

專利獲證名稱

SENSING DEVICE FOR MEASURIMG A POSITION OF NANOSCALE MOTION APPARATUS

專利所屬機關 (申請機關)

中原大學

獲證日期

2011/02/01

技術說明

奈米定位之應用近來已受到高度重視並有許多相關之應用發展出來，如應用於生醫科技方面(如細胞培養篩選)、半導體電子產業方面(如微小元件組裝與檢測)、以及機密機械製造方面(如奈米切削加工)等等。為符合上述各種應用所需複雜工作標的之運動需求，發展多自由度之平台系統是必需的，主要為架設感測器位置來設計空間多自由度之直接量測方法，以量取可動平台之直角座標值及各自由度之旋轉量，以及建立終端姿態空間回授控制系統。 It is therefore an objective of the present invention to provide a sensing device for measuring a position of a nanoscale motion apparatus that can be designed much easier.

備註

本部(收文號1070007680)同意該校107年1月24日原產字第1070000254號函申請終止維護專利(中原)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作暨專利技轉中心

連絡電話

(03)2651830

網址