發明
美國
16/385,115
US 10,916,678
Method of Substrate Lift-off for High-Efficiency Group III-V Solar Cell for Reuse
國立中央大學
2021/02/09
一種高效能III-V族太陽能電池基板剝離與再利用之方法,主要應用在發電效率最高之III-V族太陽能電池,係將原本的犧牲層(sacrificial layer)改成AlAs氧化層,經過濕氧化(Wet oxidation)處理轉變成氧化鋁(AlOx),再浸泡氧化掏離溶液蝕刻掉氧化層,即可將砷化鎵基板毫髮無傷的從複雜的III-V族太陽能電池上剝離(lift-off),如此砷化鎵基板就可以回收再利用(reuse),進而能夠有效地利用於光電元件以及降低成本。
智權技轉組
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