一種振幅變化與氣壓呈線性關係的氣壓量測裝置的製作方法METHOD FOR MANUFACTURING A PRESSURE SENSING APPARATUS WHOSE VIBRATION AMPLITUDE HAVING A LINEAR RELATION WITH THE PRESSURE

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100101312

專利證號

I 465706

專利獲證名稱

一種振幅變化與氣壓呈線性關係的氣壓量測裝置的製作方法METHOD FOR MANUFACTURING A PRESSURE SENSING APPARATUS WHOSE VIBRATION AMPLITUDE HAVING A LINEAR RELATION WITH THE PRESSURE

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2014/12/21

技術說明

提出一種線性氣壓量測裝置，包含有一本體、一連接部以及一振動元件。該連接部連接於該本體，該振動元件連接於該連接部，並具有一超距力結構以誘發振動。利用標準半導體製程完成之懸浮彈性體結構並使其在不同的壓力環境下(10-1torr ~10-8torr)進行自由震盪(Free damping)測試。量測時彈性體震盪的振幅衰減率會因環境壓力不同而產生變化，而其衰減率的變化與環境壓力呈線性關係，當壓力越大時衰減率越大，反之當壓力逐漸下降時其震盪衰減率也隨之減少。依據此線性關係可以於量測真空系統之真空度，且量測範圍可由低真空涵蓋之高真空範圍。 A device with the free-standing structure that manufactured by standard semiconductor fabricate processing, and then test using free damping method at varies gas pressure range (10-1torr ~10-8torr). Environment pressure would induce the decay rate of damping amplitude in elastic device have change, and decay rate is proportional to the gas pressure linearly. When the pressure is increasing the decay rate was raised. This linearly relationship could apply to measure the pressure of the vacuum system, and the measure range correct to rough vacuum to high vacuum.

備註

本部(文號1090000062)同意該校108年12月31日興產字第1084300814號函申請終止維護專利(中興)

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