抵消電遷移的方法METHOD FOR COUNTERACTING ELECTROMIGRATION

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097104251

專利證號

I 362079

專利獲證名稱

抵消電遷移的方法METHOD FOR COUNTERACTING ELECTROMIGRATION

專利所屬機關 (申請機關)

元智大學

獲證日期

2012/04/11

技術說明

電遷移(electromigration)是指電子撞擊導線中的金屬原子，而造成原子往電子流方向遷移的一種擴散現象。尤其在高電流密 度下，電子風力的推動將使熱活化的金屬原子(或離子)有顯著的電遷移行為。當大量的原子由陰極(cathode)往陽極(anode)移 動，將造成陽極端產生凸起物(hillock)或鬚晶(whisker)，並在另一端(cathode)留下坑谷(valley)或孔洞(void)。在情況嚴 重時，導線就會因此短路或斷路，而造成元件的失效。隨著電子元件製造不斷縮小之趨勢下，導電線路的尺寸也會跟著縮小。 這將促使導線之電流密度越來越高，電遷移對導線的破壞也將越趨顯著。故在電子元件縮小化的同時，解決電遷移的問題實是 刻不容緩。本發明專利係利用導入一逆方向電流(或電子流)的方式，來抑制電遷移對導線的破壞。利用此種方法，原子將不再 受到單一方向的電子風力(electron wind force)推擠，而造成單一方向的原子位移運動。本發明能有效抵抗電遷移對導線的 破壞，故可大幅提升電子元件的壽命。 In this invention, we intented to file in R.O.C., U.S.A. and P.R.O.C., we suggested a new method to inhibit electromigration-induced damage in a current carrying lines using a reverse current after the current carrying lines had been imposed an electric current for a period of time. The atoms/ions movement driven by electron wind force would be counterbalanced by applying the reverse one, thus the damage resulted from electomigration could be inhibited.

備註

本部(發文號1090003140)同意貴校108年10月30日元智研字第1080001146號函申請終止維護專利。

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