發明
中華民國
094110934
I 272180
微型可變焦透鏡之系統及其製法
國立中興大學
2007/02/01
本發明在於表述一製作可變焦透鏡的製法,利用PDMS之彈性及高度可複製性的優點,來作為此變焦透鏡之主體。主要步 驟為利用微影製程製作出結構,接著利用PDMA翻模,而翻模後的結構就形成流道及儲存液體之腔體,接著再製一片PDMS 之塊狀底材,再將兩片PDMS結構互相結合,利用固化劑及高溫烘烤以達到接合目的。待黏結密封之後裁切適當的部份來 作為變焦透鏡之主體。最後利用微幫浦灌入流體,或是配合微致動器來精確控制流量,利用流體的體積大小來改變PDMS 薄膜的變形程度,以達到所要求的焦距變化。本法之特點在於完全利用PDMS作為最終之結構,因此不怕結構破裂,而造 成原件裝置內不必要之污染,且只接合一次,可有效減少不必要之接合縫隙所造成的液體外漏,也不需要氧電漿接合或 蝕刻製程,能有效降低成本,達到量產所需。
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