微測熱輻射感測器及其製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103136122

專利證號

I 532980

專利獲證名稱

微測熱輻射感測器及其製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2016/05/11

技術說明

本發明係關於一種微測熱輻射感測器(Microbolometer)及其製造方法，其結構中的吸收膜具有類似波浪之非均勻面特徵，可增加吸收膜之面積而提高微測熱輻射感測器的性能；同時，考量到較佳之吸收膜與反射膜間距為所吸收熱輻射波長之四分之一，因此吸收膜之非均勻面特徵係控制為面體的高低差1.35~1.65微米，較佳為等於1.5微米，使吸收膜與反射膜間距係控制於1~4微米，較佳為2~3.5微米，以增加對於波長8~14微米之熱輻射的吸收率。

備註

本部(收文號1090075942)同意該院109年12月22日國研授半導體企院字第1091308204號函申請終止維護專利(財團法人國家實驗研究院)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

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