光譜影像相關比對式共焦形貌量測系統及方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

106145927

專利證號

I 653440

專利獲證名稱

光譜影像相關比對式共焦形貌量測系統及方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2019/03/11

技術說明

本發明提供一種藉由偵測光譜影像圖案之高速全域式光學系統與物體表面或內部光反射介面(含物體之背面)三維形貌偵測方法。本發明利用精密參考深度位移進行各個深度所對應光譜影像圖案之紀錄，以形成具有複數個光譜影像圖案資料庫。再根據每一個感測陣列所得到的複數測物光所形成關於一位置之光譜影像圖案，與複數個光學比對樣本資訊之正歸化影像匹配運算，以決定對應該光譜影像圖案之被測位置的深度資訊。同時，光譜影像圖案可以由濾波元件之波長分佈特性，由數位離散光學圖譜轉成類比連續光學圖譜，再進行量測光譜影像圖案與複數個光學之正歸化影像匹配運算，以決定對應該光譜影像圖案之位置的精密深度資訊。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

網址