光柵檢測裝置及其檢測方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

107121001

專利證號

I 667448

專利獲證名稱

光柵檢測裝置及其檢測方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2019/08/01

技術說明

本發明提供一種光柵檢測裝置及其檢測方法。該光柵檢測裝置包含一待測物載台，水平可移動地設置於一第一滑軌上，用以承載一基板，其中該基板具有一光柵結構；一雷射光源，設置於該待測物載台上方，用以提供一雷射光束，其中該雷射光束具有一波長，並且以一入射角入射到該基板上；一光偵測器，可移動且可轉動地設置於一第二滑軌上，用以捕捉從該基板出射的一繞射光，其中該第二滑軌與該第一滑軌彼此平行；以及一數據處理器，與該光偵測器相連接，用以計算及輸出該光柵結構的一週期。該檢測方法使用該光柵檢測裝置以獲得該光柵結構的該週期。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學營運及推廣教育處

連絡電話

(07)525-2000#2651

網址