發明
中華民國
096129102
I 348235
自體發電之半導體元件
國立中興大學
2011/09/01
本發明為有關一種自體發電之半導體元件,該半導體元件為依照標準之互補金屬氧化物半導體 (CMOS)的製程,於矽基 底上,依序設有氧化層、氮化矽層、氧化層。多晶矽層、接觸層、金屬層與鈍化層,且多晶矽層為多晶矽所構成,並透 過離子佈植之技術, 並以光罩以區別出複數P型多晶矽與N多晶矽,藉此,可達到自我供電與發電量穩定的優點,且使多 晶矽層在半導體的特性下,無接觸電阻之問題,亦可減少積體電路上所需之元件需求,同時達到省電的效果。
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