應用於有機發光二極體的透明導電氧化薄膜製程方法及裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

106135487

專利證號

I 651427

專利獲證名稱

應用於有機發光二極體的透明導電氧化薄膜製程方法及裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2019/02/21

技術說明

本發明係提供一種應用於有機發光二極體之透明導電氧化薄膜的濺鍍方法及濺鍍裝置，主要是在濺鍍裝置內的濺鍍源與基板之間設有一金屬濾網，且金屬濾網與基板之間係具有一間隔距離。如此一來，透過在濺鍍裝置中裝設金屬濾網之方式，便能夠在無須另外購機或大幅改動機體設備，亦在不犧牲OLED發光效率的情況下，在濺鍍透明導電氧化薄膜時，減少下方有機發光材料所受到之電漿傷害。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

04-22851811

網址