發明
中華民國
105142828
I 614513
量測移動平台之多自由度誤差之方法及裝置
國立中正大學
2018/02/11
為了生產高精密度的產品、提高生產良率及增加生產效益,因此除了必須進一步的研發製作產品的工具機外,在工具機製造出廠的過程中對工具機的誤差進行量測之量測技術也必須跟上工具機發展的腳步,已使得高精密度的工具機在進行出廠校驗時可以有高精精度的量測技術來檢驗或補償其誤差,以達到提高生產良率及增加生產效益之效果。 本發明係一種量測移動平台之多自由度誤差之方法及裝置,係藉由將設置於固定平台之光源模組所射出之光源射入設置於移動平台之鏡片模組中,透過鏡片模組中鏡片之反射使得光線反射回設置於固定平台之至少一光電感應模組,再由處理單元依據光電感應模組所產生之訊號計算移動平台之定位誤差或及直度誤差或及角度誤差。 The present invention relates to a measurement system, and particularly to a method and an apparatus for measuring errors of a movable platform in multiple degrees of freedom by calculating the errors of the movable platform according to the signal of the light emitted from a light-source module and reflected to an optoelectronic sensing module by a mirror set disposed on the movable platform.
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