相位型全場角度偏向顯微鏡之量測方法及其量測裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

105100278

專利證號

I 575219

專利獲證名稱

相位型全場角度偏向顯微鏡之量測方法及其量測裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2017/03/21

技術說明

本專利乃發展出一種光學式非破壞性、非接觸性、非掃描方式之快速高精度顯微量測技術，系統原理與架構簡單，類似拍照手法，可快速取得三維影像資訊，可節省成本及時間又有高精度且三維量測之優點，利用幾何光學光軌跡成像技術與表面電漿共振(surface plasmon resonance)之相位對角度變化來求出相位對表面高度之轉換。本方法藉由四步移相干涉術(four-step phase-shift interferometry)以CCD連續擷取移相相位為0度、90度、180度、與270度等影像、然後加以計算出整面相位資訊，經相位對表面高度之轉換後，以電腦軟體計算與繪圖，呈現3D立體圖像。使用者可輕易在任何一個量測位置上獲得該位置的3D資訊。此光學橫向解析度受限於繞射極限的影響，可高於0.5微米，但其縱向解析度可高於1奈米，量測光學倍率可高於1250倍。適合量測穿透式光學表面輪廓。對高精細樣品量測有很好的應用 This patent presents a new approach for measuring the three-dimensional surface profile of transparent material or determining the distribution of refractive index variations based on the full-field phase-type angle deviation microscope (ADM) with a surface plasmon resonance (SPR) sensor in phase detection. The phase shift between the s- and p-polarizations caused by the angle deviation of the refractive index variation or surface gradient can be obtained through four-step phase-shift interferometry. This method can plot the full-field image of a refractive index in a short time and accomplish the liquid flow status or obtain the three-dimensional surface profile of the test plate. Using the SPR sensor will improve phase sensitivity such that the refractive index resolution and vertical resolution can be better than 2.2×10^-8 (RIU) and 1 nm, respectively.

備註

本部(收文號1090029616)同意該校109年5月22日虎科大智財字第1093400055號函申請終止維護專利(虎科大)

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