探針針尖修飾方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100137559

專利證號

I 439696

專利獲證名稱

探針針尖修飾方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2014/06/01

技術說明

本發明提供一種修飾探針針尖的方法，利用能量束掃描的方式來輔助在探針針尖達成局部、選擇性、可精確控制的奈米結構沉積效果，並大幅提升探針的空間解析度。一般而言，掃描探針顯微鏡的空間解析度與針尖的幾何形貌與尺寸有直接的關聯；許多探針針尖修飾的方法已經被提出；對於單一探針的針尖修飾，先前技術均未能達成或兼顧非破壞性、深寬比控制、尺寸精確控制、成長方向控制之特性；本發明提出一種可達成上開特性的奈米探針針尖修飾方法。 This invention provides a method modifying the tip apex of a probe. Using a scanning beam with energy, one can locally, selectively, and precisely control the deposition of a nano-structure, significantly improving the spatial resolution of a probe. In general, the spatial resolution of scanning probe microscopy directly depends on the tip apex profile and size. Many approaches to the tip modification have been reported. For modifying a single tip, the techniques prior reported cannot meet the requirements of non-destruction, high aspect ratio, size control, and growth direction. This invention provides a method modifying the tip apex of a probe in order to meet the above aims.

備註

本部(收文號1080029338)同意該校108年5月10日興產字第1084300302號函申請終止維護專利

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