可撓式壓力感測器

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

111132855

專利證號

I 814560

專利獲證名稱

可撓式壓力感測器

專利所屬機關 (申請機關)

國立高雄科技大學

獲證日期

2023/09/01

技術說明

一種可撓式壓力感測器，係以半導體製程製作形成，其包括：基底層，其為高分子材料，具有可撓性，更包括第一配置區及第二配置區，於第一配置區及第二配置區間的假想折疊線位置，將基底層折疊，使第一配置區位於第二配置區上方；第一電極層，沉積於第一配置區上；第二電極層，沉積於第二配置區上，對應於第一電極層位置下方，用以取得壓力感測值；電感線圈，沉積於第二配置區上，並圍繞於第二電極層四周；以及高分子膜材層，塗布於基底層表面上方，用以形成介電質。

備註

112_01 112/4/10 112_01_010 半額補助

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

連絡電話

網址