一種應用角隅稜鏡與四象限感測器建立奈米級解析度之三軸振動量測裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094133113

專利證號

I 271513

專利獲證名稱

一種應用角隅稜鏡與四象限感測器建立奈米級解析度之三軸振動量測裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2007/01/21

技術說明

一種應用角隅稜鏡與四象限感測器建立奈米級解析度之三軸振動量測裝置，其主要包括：一雷射光源、一第一分光鏡、一第二分光鏡、一第三分光鏡、一角隅稜鏡組以及一四象限感測器組，係利用兩個設計正交之角隅稜鏡治具置放於待測物上，並應用一準直雷射光源與光路設計，使雷射光源分別射入設計正交之角隅稜鏡上，反射後分別再由兩個四象限位置感測器接收反射光點位置，當角隅稜鏡有一橫向偏移時，將使反射雷射光放大兩倍偏移，因此可提高兩倍解析度，並藉由兩個四象限位置感測器，可同時精確的量測出三軸振動位移量。 NONE

備註

本部(收文號1040050424)同意該校104年7月14日虎科大智財字第10434061520號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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連絡電話

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