線性平台五自由度量測系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099127543

專利證號

I 426229

專利獲證名稱

線性平台五自由度量測系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2014/02/11

技術說明

本五自由度量測系統可分為量測讀頭以及光柵尺兩大部分。光柵尺即為一般的一維反射式繞射光柵，主要是用來作為傳遞平台移動訊號的媒介，因此，此部分將會架設於工具平台上，當平台動作時光柵尺將隨之產生連帶的動作；讀頭部分是以一般雷射二極體作為光源以及兩個反射鏡、四分之一波片、分光鏡和兩個檢偏器與四個四象限位置感測器所構成。當工具平台移動時將會帶動光柵尺產生相對的動作訊息，此時本量測讀頭將可接收由光柵尺所產生的正負1階以及正負2階繞射光訊號，並且利用正負1階繞射光和相關鏡組與兩個四象限位置感測器的搭配以及干涉原理進行線性位移的量測，而正負2階繞射光將由另外兩個四象限位置感測器接收並且利用繞射原理進行左右直度以及三個角位移量，俯仰度、搖擺度、滾動度的判斷以及量測，如此將可構成一套五自由度光學尺量測讀頭系統。

備註

本部(收文號1060000110)同意該校105年12月30日虎科大智財字第10534002490號函申請終止維護專利

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