微機電電容式麥克風

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099115379

專利證號

I 448164

專利獲證名稱

微機電電容式麥克風

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2014/08/01

技術說明

本發明係揭露一種具剛性振膜之麥克風，該具剛性振膜之麥克風之壓力感測器為雙層電極板構造，上層電極板為具形狀補強結構之一剛性振膜。下層電極板係以一薄型彈簧結合具肋補強的一背板所構成，薄型彈簧以十字型橫貫該背板中心。於下層電極板之薄型彈簧中心處有一中心支柱支撐上層電極板。一頂壓構造係設置於上下層電極板之間，防止上下電極板接觸而燒毀。因該剛性振膜僅於中心處以中心支柱支撐，故可有效釋放製造剛性振膜時，製程所產生之殘留應力。且該剛性振膜承受音壓時，剛性振膜以及下電極板的背板皆不會變形，僅有位於下電極板的薄型彈簧變形，故上下兩電極板間接收訊息的有效範圍可擴大至剛性薄膜及背板的全面積，進而可提供大訊號的輸出。 In the present invention, the rigid diaphragm is moved parallel to the back plate by the elasticity or deformation of the elastic element. Thereby, the variation of the capacitance between the rigid diaphragm and the back plate only correlates to the gap therebetween. Thus is promoted the precision and sensitivity of the microphone while detecting or receiving the sound.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址