發明
中華民國
093134588
I 257281
奈米結構鑽石散熱片
國立清華大學
2006/06/21
本發明提供一種包括鑽石奈米針或奈米管之垂直成長奈米級鑽石結構,更特別地,本發明揭示用於將此鑽石結構沈積於粗糙多晶鑽石基板上之裝置及方法。 A vertical aligned nano-scale diamond structure comprising diamond nanotip or nanotube is provided. More particularly, apparatus and method are disclosed for depositing such diamond structure on a rugged polycrystalline substrate.
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