繞射光柵元件模仁及光柵元件之製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095141710

專利證號

I 305278

專利獲證名稱

繞射光柵元件模仁及光柵元件之製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2009/01/11

技術說明

本發明係有關一種繞射光柵元件模仁及光柵元件之製造方法,其係將光阻均勻地分散塗佈在該基板一面上,並將光柵圖案感光在該光阻上,且在該光阻具有光柵圖案的表面鍍上一層具導電性的第一金屬層,使該光阻表面具有導電性,再將已具有該光阻的該基板置於電鑄槽內進行電鑄加工,使該第一金屬層相反於該光阻的另面上沉積第二金屬層,直至該第二金屬層具有一適當厚度再停止電鑄加工,再將該基板自該光阻上脫除,並以光阻去除液將該光阻溶解去除,取出餘下的繞射光柵金屬模仁,再以該模仁應用在微熱壓成形技術軟式印刷之複製成形技術,以達到大量翻製具有較佳深寬比且特性穩定的繞射光柵元件之目的。

備註

本部(收文號1050001826)同意該校105年1月6日虎科大智財字第10534000010號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

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