具雙頻響應之薄膜體聲波共振器之製造方法及其結構MANUFACTURING METHOD AND STRUCTURE OF THIN FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR WITH DUAL FREQUENCY RESPONSES

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

096134325

專利證號

I 355102

專利獲證名稱

具雙頻響應之薄膜體聲波共振器之製造方法及其結構MANUFACTURING METHOD AND STRUCTURE OF THIN FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR WITH DUAL FREQUENCY RESPONSES

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2011/12/21

技術說明

具雙頻響應之薄膜體聲波共振器之製造方法及其結構 Manufacturing method and structure of thin film bulk acoustic resonator with dual frequency responses

備註

本部(收文號1040083830)同意該校104年11月20日中產營字第1041400247號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學營運及推廣教育處

連絡電話

(07)525-2000#2651

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