以表面式微加工技術製作垂直式梳狀致動器之方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

092100294

專利證號

I 200536

專利獲證名稱

以表面式微加工技術製作垂直式梳狀致動器之方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立交通大學

獲證日期

2004/03/21

技術說明

本發明垂直式梳狀致動器之製法，係於基材上以電鑄形成第一犧牲層後，並於該第一犧牲層 上以電鑄形成下梳狀電極，再於該下梳狀電極上電鑄形成第二犧牲層，然後在第二犧牲層上 先後以沈積法形成第三犧牲層及上梳狀電極，最後蝕刻上述各犧牲層而得到垂直式梳狀致動 器。藉此解決習知技術致動效果不佳、致動行程受限、基底材料受限，或上、下電極之側向 間距受限於對準精度而造成控制不佳的問題，相對可達到降低致動電壓、增大行程及適用各 種基材的功效。

備註

本部(收文號1040087827)同意該校104年12月10日交大研產學字第1041013203號函申請終止維護專利 (多填I係為了系統儲存規則)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智慧財產權中心

連絡電話

03-5738251

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