溶液性質感測器及其製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

105137689

專利證號

I 616655

專利獲證名稱

溶液性質感測器及其製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2018/03/01

技術說明

1. 一種溶液性質感測器，包括： 一基板；及 一氧化銦錫圖案層，設置於該基板上，且該氧化銦錫圖案層包括： 一酸鹼值感測圖案； 一溫度感測圖案，電性隔離於該酸鹼值感測圖案；及 一電導度感測圖案，電性隔離於該酸鹼值感測圖案及該溫度感測圖案。 2. 如申請專利範圍第1項所述之溶液性質感測器，其中該基板的材質包括聚對苯二甲酸乙二酯。 3. 如申請專利範圍第1項所述之溶液性質感測器，其中該酸鹼值感測圖案包括一酸鹼值感測區及一酸鹼值電路連接區，該酸鹼值電路連接區連接該酸鹼值感測區。 4. 如申請專利範圍第1項所述之溶液性質感測器，其中該溫度感測圖案包括一第一溫度電路連接區、一第二溫度電路連接區及一溫度感測區，該溫度感測區位在該第一溫度電路連接區及該第二溫度電路連接區之間，且該溫度感測區的二端分別連接該第一溫度電路連接區與該第二溫度電路連接區。 5. 如申請專利範圍第1項所述之溶液性質感測器，其中該電導度感測圖案包括一第一電導度電路連接區及一第二電導度電路連接區，該第一電導度電路連接區與該第二電導度電路連接區係電性隔離且隔開一距離。 6. 如申請專利範圍第1項所述之溶液性質感測器，其中該基板及該氧化銦錫圖案層之間更包含五氧化二鈮層及二氧化矽層，其中在該基板上依序堆疊該五氧化二鈮層、該二氧化矽層及該氧化銦錫圖案層。 7. 如申請專利範圍第1項所述之溶液性質感測器，更包括一電路連接插槽，具有多個電路連接端，其中該些電路連接端分別電性連接該酸鹼值感測圖案、該溫度感測圖案及該電導度感測圖案。 8. 一種溶液性質感測器的製造方法，其包含步驟： 提供一基板； 形成一氧化銦錫層於該基板上；及 圖案化該氧化銦錫層，以使該氧化銦錫層形成一氧化銦錫圖案層，其中該氧化銦錫圖案層包括： 一酸鹼值感測圖案； 一溫度感測圖案，電性隔離於該酸鹼值感測圖案；及 一電導度感測圖案，電性隔離於該酸鹼值感測圖案及該溫度感測圖案。 9. 如申請專利範圍第1項所述之溶液性質感測器的製造方法，其中該圖案化該氧化銦錫層的步驟更包括以一雷射雕刻方式圖案化該氧化銦錫層。 10. 如申請專利範圍第1項所述之溶液性質感測器的製造方法，其中該圖案化該氧化銦錫層的步驟更包括以一濕式蝕刻方式圖案化該氧化銦錫層。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學營運及推廣教育處

連絡電話

(07)525-2000#2651

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