發明
中華民國
109117765
I 767241
氣體感測裝置
國立交通大學
2022/06/11
一種氣體感測裝置,包括一熱絕緣基板、一感測器用以感測氣體的濃度及一加熱器用以提供氣體感測所需的溫度,該感測器及該加熱器都位於該熱絕緣基板的第一表面。該感測器具有微結構以提高感測的準確度。 A gas sensing device includes a thermal insulation substrate, a sensor for sensing gas concentration and a heater for providing a temperature which is needed for sensing gas. The sensor and heater are in a first surface of the thermal insulation substrate. The sensor has a micro-structure to improve a sensing accuracy.
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