流體感測器及其製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100127244

專利證號

I 507683

專利獲證名稱

流體感測器及其製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2015/11/11

技術說明

一種流體感測器及其製造方法。此製造方法包含如下步驟：形成一第一電極層於基板的一側；蝕刻該基板，以形成一空腔；形成一壓電層於基板的該側；形成一第二電極層於該壓電層上；形成一接合金屬層於該空腔內，並位於該第一電極層上；以及形成一流體檢測金屬層於該接合金屬層上。本發明是有關於一種流體感測器及其製造方法，且特別是有關於一種利用操作頻率較高的雙模態薄膜體聲波共振器(Dual-mode film bulk acoustic resonator，FBAR)來製作高靈敏度流體感測器及其製造方法。 A fluid sensor and a manufacturing method thereof are disclosed. The manufacturing method comprises the following steps: forming a first electrode layer on one side of a substrate; etching the substrate to form a chamber; forming a piezoelectric layer on the side of the substrate; forming a second electrode layer on the piezoelectric layer; forming a bonding metal layer in the chamber and on the first electrode layer; and forming a fluid detection metal layer on the bonding metal layer.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學營運及推廣教育處

連絡電話

(07)525-2000#2651

網址