一種微感測片之支撐結構及其成型方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

093100854

專利證號

I 240955

專利獲證名稱

一種微感測片之支撐結構及其成型方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中央大學

獲證日期

2005/10/01

技術說明

本發明係一種用於微液滴蒸發與溫度感測裝置的微感測片，尤指一種可提升結構強度及延長 使用壽命的微感測片之支撐結構及其成型方法，其係以濕蝕刻液作非等向性蝕刻，而於為感 測片底部形成俯視為「一」形狀或「十」形狀之支撐結構，讓整個支撐結構可有效承受微感 測片所受微液滴的撞擊，令微感測片不致受到微氣味液滴撞擊而崩毀，且感測溫度時亦不致 於透過支撐結構將熱傳導開，以確保感測的準確性，同時可達到提升其結構強度及增長使用 壽命之目的。

備註

本部(收文號1050047992)同意該校105年7月7日中大研字第1051430192號函申請終止維護專利97件(中央)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智權技轉組

連絡電話

03-4227151轉27076

網址