發明
美國
11/181,160
US 7,317,575 B2
可調式分光光學系統Tunable dispersive optical system
財團法人國家實驗研究院
2008/01/08
可調式分光光學系統 (Tunable Dispersive Optical System),本發明係提供一種包含至少一繞射光柵之新型的分光系統。藉由調變該光柵之節距值以使得不同波長之繞射能量束可以被分離出單一波長之能量束。在可調式分光光學系統這樣的分光系統中,不需要額外提供階次濾波器(order sorting filter),便能將一所選擇的繞射階次之繞射能量束,從一重疊繞射階次的連續頻譜的能量束中分離出來。利用微機電 2.5 維結構之成型技術,能利用同一道光罩將光柵分光系統,包括微光柵與諸多微光學元件同時設計並製作完成,在系統的微型化、對準組裝以及降低成本上皆具有很大優勢。 A novel dispersion optical system based on at least one grating is provided. The pitches of the grating are linearly modulated so that the incident light is dispersed into different monochromatic light at different diffraction angles. In such a system, an order sorting filter is not required to separate the light of a selected order from the rest of unwanted overlapped order.
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