氣體感測器製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

109131323

專利證號

I 743985

專利獲證名稱

氣體感測器製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2021/10/21

技術說明

一種氣體感測器，用以解決習知氣體感測器的靈敏度受環境濕度影響且隨時間衰退的問題。係包含：一基板；一加熱元件，位於該基板上；一感測層，覆蓋於該加熱元件上，該感測層含有一摻雜元素，該摻雜元素的電負度值大於2；及二電極，分別電性連接該感測層。本發明另揭示一種氣體感測器製造方法，包含：一沉積製程，以沉積方法在一基板上堆疊一加熱元件、一感測層及二電極；及一摻雜製程，在沉積該感測層時，導入一摻雜氣體。 A gas sensor is used to solve a problem of the sensitivity of the conventional gas sensor is affected by environment humidity and decay over time. This gas sensor includes a substrate, a heating component on the substrate, a sensing layer covered on the heating component, and two electrodes respectively electrical connected to the sensing layer. The sensing layer includes a doping element. The electronegativity of the dopant element is more than two. A method for manufacturing the gas sensor is also provided. The method includes laminating a heating component, a sensing layer, and two electrodes on a substrate by using deposition, and introducing a dopant air when depositing the sensing layer.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學營運及推廣教育處

連絡電話

(07)525-2000#2651

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