透鏡色差式光譜量測裝置及光譜量測方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103101859

專利證號

I 472725

專利獲證名稱

透鏡色差式光譜量測裝置及光譜量測方法

專利所屬機關 (申請機關)

中央研究院

獲證日期

2015/02/11

技術說明

本透鏡色差式光譜儀之像散檢測法，提出一新穎且具超高解析能力之光譜檢測機制，該檢測機制有別於現有光譜儀系統的稜鏡分色技術與光柵分光技術。本技術主要是利用透鏡色差搭配光學像散檢測法所構成，對於光波長具有10-3 奈米(pm)以下的光波長分辨能力，且不必透過複雜的電子處理與計算即可輕易達成，屬一種光學檢測概念，並同時具有微小化與符合經濟效益等優勢。 本光學量測系統架構極為簡易，在同一套系統中，可同時獲得待測目標同一點的四個自由度，如線性位移、俯仰度位移量、搖擺度位移量與滾動度位移量，可達高精度之解析能力(線性位移約1 nm、角度1 sec)。功能上，角度量測能力優於自動視準儀、電子水平儀。因本系統可同時得到三軸角度，而傳統視準儀與電子水平儀僅可量測兩軸資訊。本系統之線性位移檢測能力，與干涉儀或光學尺、電容式位移計、渦電流式位移計以及三角雷射等專業儀器性能並駕齊驅或更高。除此之外，本系統具有微小輕便之特性，攜帶方便、架設容易，且不需專業人才即可使用等特點。 This invention provides high resolution detection mechanism of optical spectrum which differs from prism and grating dichroic technologies. The invention combines lens chromatic aberration phenomenon and optical astigmatism method, which has optical wavelength detection resolution of 10-3 nm (pm). No complex electronics and data processing are needed in this invention. Furthermore, this invention is based on a simple optical path with compact size and low-cost features.

備註

本部(收文號1100010775)同意該院110年2月22日智財字第1100501424號函申請終止維護專利(中央研究院)

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