Micro Normally-closed Structure and Method for Manufacturing the same

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

14/676,089

專利證號

US 10,077,185

專利獲證名稱

Micro Normally-closed Structure and Method for Manufacturing the same

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2018/09/18

技術說明

近年來隨著各種機電元件，例如：繼電器、螺線管、閥、感應器、電感元件、微型齒輪等電機元件，逐步朝向微型化與低功耗發展，也帶動磁簧開關微型化的發展，各種微型化製造技術中，屬微電機系統(MEMS)製造技術的發展最為成熟，以MEMS製作出的電機元件，體積比傳統的電機裝置來的小，可提供更多元性的配置功能，也因此帶動MEMS技術的微型磁簧開關/微型繼電器之研發。 鑑於習用技術中基於MEMS技術所製作之磁簧開關都是常開狀態，常閉狀態在MENS製程中並不容易製作，因此本發明提出一種能夠以MEMS技術製作的微型常閉式結構及其製作方法。 本發明關於一種微型常閉式結構及其製作方法，此微型常閉式結構係透過一微機電製程而製作並做為一微機電元件，其包含一基座與一固定接點；以及一撓性支臂，其具有一第一端與一活動接點，該第一端係與該基座電性連接，該活動接點與該固定接點之間保持一常閉電性導通狀態，進而縮小常閉式磁簧開關之體積。 The present invention relates to a micro normally-closed structure and method for manufacturing the same. The micro normally-closed structure is manufactured by a micro electro mechanical systems (MEMS) process and as a MEMS component and includes a base and a stationary contact point; and a flexible arm having a first end and a mobile contact point, wherein the first end is electrically connected with the base and there keeps a normally-closed electrical connection state between the mobile contact point and the stationary contact point.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址