發明
中華民國
095120129
I295200
多功能生物晶片及醫療工具乾式清洗及表面處理機
國立臺北科技大學
2008/04/01
一種多功能生物晶片及醫療工具乾式清洗及表面處理機,包 括:一可密閉之容器,該容器內具有一加熱裝置、一排氣孔 以及進氣孔,並可放置待處理物;一臭氧產生器,係以一進 氣孔與該可密閉之容器連接,氧氣輸入該臭氧產生器後受激 發而成為臭氧,臭氧再由該進氣孔輸入至該容器內,經由該 加熱裝置加熱輸入之臭氧,使高溫臭氧流向待處理物,以高 溫臭氧汽流進行待處理物之清潔,最後廢氣由該排氣孔排 出;一氣相化學沈積法系統,該系統包含一化學蒸氣源以及 一加熱器,該化學蒸氣源經該加熱器加熱產生蒸氣後,經由 一進氣孔輸入至該可密閉之容器內,以對該待處理物進行活 化作用。
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