發明
中華民國
091107371
I238195
溫控式微生物晶片及其製造方法
國立成功大學
2005/08/21
本發明係提供一種高效能微型PCR晶片及其製造方法,以快速且低成本的製程 方式將微型元件(加熱器及溫度感測器)整合於晶片反應槽內,用於PCR複製 DNA。該反應槽為生物相容性材質所直接製造及接合而成,故不需任何昂貴、 繁瑣製程即可構成。本發明利用微機電系統製程在晶片中形成微型反應槽, 並在反應槽內沉積微型溫度感測器及微型加熱器,再與IC控制器結合,在晶 片上形成微型溫度控制系統。利用晶片反應槽內之微型加熱器對槽中樣本加 溫,並以槽內之微型溫度感測器即時量取槽中樣本溫度,回饋信號至同一晶 片上之IC控制器,對微型加熱器進行控制,以維持槽內樣本溫度為一定值, 再透過PCR不同溫度之循環變化,可對槽中特定樣本產生DNA複製效應。本發 明除了可應用於單一PCR外,尚可應用於微型細胞培養器、微型發酵器、微型 恆化器、微型細胞破碎器、微型薄膜分離器及微型純化器等需要精確溫度控 制條件之微型生物反應器,並可與毛細管電泳微型管道整合於同一晶片上, 將可形成整合型PCR-CE晶片。 A novel technique for fabrication of micro PCR (polymerase chain reaction) for DNA amplication is invented. The micro PCR chip is composed of micro temperature sensors and micro heaters on glass substrates and an IC-controller to form a micro temperature control system for biomedical applications. A MEMS ( Micro – Electro – Mechanical - Systems) technology using thin-film platinum resistors as sensing/heating elements and a layer of polyimide as an isolation layer inside a micromachined chamber is developed............
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