微光學鏡片之製造方法及結構

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

092127252

專利證號

I223325

專利獲證名稱

微光學鏡片之製造方法及結構

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2004/11/01

技術說明

應用光阻材料再流動現象以最佳之製程參數，得以簡化三維光學鏡片的組裝 過程，並具體應用在相關光學微機電系統之上。捨去傳統微表面加工製程， 吾人採用SOI晶片，經過顯影、蝕刻，將光阻材料所製的絞鍊結構鋪設在相關 位置，經由蒸鍍金屬膜，結構分離與光阻再流動等步驟完成相關微機電光學 系統的自動組裝製作。利用本發明獨特之定位器設計，定位器能夠輕易與微 光學鏡片結合，結合置於電熱板上再流動現象之自動組裝技術，能夠迅速、 有效地製造出近乎垂直之微光學鏡片系統並提昇製造良率。 With the best fabrication parameters, the photo-resist reflow property can be used as a tool for auto-assembling of a 3D micro mirror, which can be applied to the micro-optical-electric- mechanical system. Instead of using the traditional surface micro- machining technique, we start with using the bonded silicon on insulator wafer, BSOI. Photo-resist material is used as the hinge material once the wafer has been patterned. After metal deposition on the device, the structure is timed released in HF, and then auto assembled by reflow on a hot plate. With the special design of the mirror limiter, the nearly vertical rotatable micro-mirror can be easily achieved with very good yield.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

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