電性掃描探針顯微鏡之前翼式探針懸臂

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094108732

專利證號

I 264542

專利獲證名稱

電性掃描探針顯微鏡之前翼式探針懸臂

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2006/10/21

技術說明

本發明係揭露一種使用於電性掃描探針顯微鏡之前翼式探針懸臂，其係在懸臂前端二側對稱延伸 設有二前翼結構，使該二前翼分別位於導電探針之二側，利用具有前翼結構之探針懸臂可有效抑 制電性掃描探針顯微鏡的光擾效應，大幅提高分析的準確度。前翼結構可在掃描區域提供一有效 暗區，使其不會半導體試片的掃描區域上產生明顯的光學吸收現象，亦即可避免微分電容訊號測 量分析時的光學干擾。

備註

本部(收文號1050055769)同意該院105年8月2日國研業字第1050102117號函申請終止維護專利24件(國研院)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

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