一種鈷鐵合金薄膜及其製備方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

105133701

專利證號

I 617675

專利獲證名稱

一種鈷鐵合金薄膜及其製備方法

專利所屬機關 (申請機關)

中原大學

獲證日期

2018/03/11

技術說明

一般Co-Fe合金薄膜多是以濺鍍的方式鍍膜，濺鍍設備價格昂貴。本發明技術以無電鍍(Electroless Plating)方法得到Co-Fe鍍膜，無電鍍方法價格低廉。傳統無電鍍薄膜最大的問題為不可避免之磷含量，磷含量愈高，鍍膜結晶性愈差，以作為電子構裝擴散阻障層之功能而言，結晶性愈差，擴散阻障功能愈差，必須加以改進。本發明揭露一種新的Co-Fe合金鍍膜之方法，於無電鍍製程中引進超音波震盪，得到的Co-Fe鍍膜中磷含量下降至2-4wt%，鍍膜結晶性提高，阻擋擴散的能力提高。 The most difficult problem in conventional electroless plating process is the P-containing deposited thin films. In this invention, the megasonic vibration is introduced into the electroless plating process to produce the Co-Fe alloy thin films. By using the process this invention revealed, the P contents in the deposited thin films are lower than those from the conventional electroless plating process. The crystallites of the deposited thin films are higher than those from the conventional electroless plating process, accordingly. Higher crystalline promotes the diffusion barrier function of the deposited thin films.

備註

本部(收文號1090038407)同意該校109年6月29日原產字第1090002024號函申請終止維護專利(中原大學)

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