銀鎂鋁金屬玻璃鍍層及其製備方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

101126292

專利證號

I 477618

專利獲證名稱

銀鎂鋁金屬玻璃鍍層及其製備方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2015/03/21

技術說明

本發明係一種銀鎂鋁金屬玻璃鍍層及其製備方法。該銀鎂鋁金屬玻璃鍍層由磁控共濺鍍裝置按特定原子比例同時沉積銀、鎂及鋁金屬所製備而成，其中銀的原子百分比為30~45%，鎂的原子百分比為37~45%，及鋁的原子百分比為18~25%。鍍膜工作壓力為3x10-3 torr，製備過程中通氬氣充滿腔體以帶走濺鍍時可能產生的多餘氣體。濺鍍開始前會先預濺鍍5分鐘以清除靶材上可能 附著的氧化物。鍍率依成份比例不同約為每分鐘33~40奈米。鍍膜時基板放置於距離靶材12公分處，並以每分鐘16轉的轉速轉動，使膜的成份及厚度更均勻。 The present invention provides an Ag-Mg-Al metallic glass coating and a manufacturing method thereof. The Ag-Mg-Al metallic glass coating is formed by using a sputtering device to synchronously deposit metal of Ag, Mg and Al elements in a certain atom percentage. The atom percentage is 30 to 45 atom percent Ag, 37 to 45 atom percent Mg and 18 to 25 atom percent Al.

備註

本部(收文號1070007387)同意該校107年1月23日中產營字第1071400099號函申請終止維護專利(中山)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學營運及推廣教育處

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