發明
大陸
201910260281.7
5205937
場發射手持式常壓電漿產生裝置
國立清華大學
2022/06/03
一種場發射手持式常壓電漿產生裝置包含一本體、一陰極體、一陽極框、一定位元件及一蓋體。本體具有一定位槽、一容置槽及一氣體入口。陰極體的一第一部定位於定位槽中。陽極框與定位元件容置於容置槽。陰極體與陽極框互相面對的兩個側壁的其中一個或每一個具有奈米碳材料層。陰極體的一第二部穿過陽極框,並受定位槽定位固定而與陽極框隔開一間距。蓋體具有一電漿通道並蓋合本體。陽極框及陰極體接收一射頻電源,使從氣體入口進入容置槽且通過間距的一氣體產生電漿後從電漿通道輸出。
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