METHOD OF MODIFYING SUBSTRATE SURFACE

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

14/853,672

專利證號

US 9,758,631 B2

專利獲證名稱

METHOD OF MODIFYING SUBSTRATE SURFACE

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2017/09/12

技術說明

聚二甲基矽氧烷 (Polydimethylsiloxane, PDMS)，為有機矽的聚合物，由 (-SiO(CH3)2)單元所組成，具有良好的物理延展性、光學通透性以及穩定的化學結構等性質。相較於矽晶圓的半導體製程，PDMS的微製程成本低廉又迅速，且具有高度的生物相容性，目前已被廣泛製作成微流體系統 (microfluidics)中的微流道、微幫浦等元件。為了增加流體的傳輸效率，一般會將固化的PDMS先經過氧電漿改質處理，使其表面達到高親水性，但其親水性特性會隨著時間快速衰退；若利用化學接枝共聚處理，親水性特性雖較穩定，但是其處理步驟繁複，不利應用於量產製程中。本製程技術綜合以上特性進行改良: 先將半固化之PDMS表面進行氧電漿處理，接著利用親水性紫外線 (Ultraviolet, UV)光固化塗料旋塗於表面上，將其放置於真空袋中，並注入氮氣，再進行真空處理，最後以低功率UV燈照射其有懸塗之表面，並進行加溫．即完成表面改質的過程。本製程特點有二：1.製程時間短:能在一小時內，完成表面改質，步驟簡單，非常利於產業應用。2.親水性穩定：其親水性特質，能維持數月以上不衰退，優於目前技術。3.親水性佳：接觸角可隨使用之親水性塗料而適度改變。 A method of substrate surface modification comprises: performing an O2 plasma treatment on a substrate; coating hydrophilic UV curing glue uniformly on the substrate; disposing the substrate into an oxygen-free environment; and exposing to an UV light source to cure the hydrophilic UV curing glue.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址